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真空計原理

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作者:INFITECH來源:原創

經常有同學詢問真空計原理,這里為大家做個系統的解釋,按照不同的真空計分類,詳細說明每種真空計的工作原理。


皮拉尼真空計原理

利用電熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系的原理,給燈絲通過恒流源供電加熱,由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量,電阻絲的溫度會發生變化(恒溫)引起電橋(惠斯通) 電阻變化,根據電阻變化測算出氣壓。

皮拉尼真空計原理


熱陰極電離規真空計原理

高溫燈絲發射電子,高能量電子撞擊氣體分子,氣體分子的一個或 多個電子被撞擊出去,形成帶正電的離子,帶電離子被離子收集極 捕捉收集放大輸出,離子流的大小與氣體壓力成比例關系。

熱陰極電離規真空計原理



熱陰極電離規規管

冷陰極電離規真空計原理

冷陰極電離規也稱為潘寧規,和熱陰極電離規類似,仍是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓 測量,但與熱陰極電離規不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分 子產生離子。

冷陰極電離規真空計原理




以上為大家詳細介紹了幾種常見真空計原理,相信通過本文的描述,你對真空計的工作原理已經有了比較清楚的認知。當然,除了以上討論的幾種真空計外,還有其它的如麥氏真空計,薄膜真空計等,若要了解此類真空計工作原理,可以關注我公司網站的相關文章。


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